電子級水是半導(dǎo)體、集成電路、液晶顯示等電子器件生產(chǎn)制造的核心工藝用水,水質(zhì)參數(shù)直接決定電子產(chǎn)品的成品品質(zhì)與運行穩(wěn)定性。目前我國將電子級高純水劃分為四個電阻率等級,而美國ASTM標準以18.3MΩ·cm的超純水理論電阻率為依據(jù),對18.1MΩ·cm以上的超純水細化出四個細分等級,也是現(xiàn)階段電子半導(dǎo)體行業(yè)通用的水質(zhì)參考依據(jù)。
半導(dǎo)體生產(chǎn)全過程對用水純度有著嚴苛要求,常規(guī)自來水、純凈水無法滿足生產(chǎn)標準。芯片制造、晶圓清洗、集成電路封裝、高精度電路板加工等工序,均需使用電阻率18MΩ·cm以上的超純水。此類水體導(dǎo)電介質(zhì)含量極低,可規(guī)避水體導(dǎo)電對電子器件性能的干擾,同時水中金屬離子、膠體顆粒物含量處于極低水平,能夠避免芯片精密表面產(chǎn)生劃痕與不可逆損傷。行業(yè)生產(chǎn)規(guī)律表明,集成電路集成度提升、線路寬度縮減,會同步抬高生產(chǎn)用水的純度標準。

超純水設(shè)備是適配電子行業(yè)高標準用水的專用水處理設(shè)備,通過多階段系統(tǒng)化工藝,逐層去除水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、溶解氣體及有機雜質(zhì),實現(xiàn)水體高度純化。萊特萊德超純水設(shè)備搭載成熟的多級處理工藝體系,涵蓋預(yù)處理、反滲透預(yù)脫鹽、超純化處理及后級精細處理單元,整套工藝銜接穩(wěn)定,可持續(xù)性產(chǎn)出符合半導(dǎo)體行業(yè)標準的超純水。
設(shè)備搭載的反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),可提前截留水中大部分溶解鹽類、大分子有機物及微生物雜質(zhì),初步降低水體電導(dǎo)率,為后續(xù)深度純化筑牢水質(zhì)基礎(chǔ)。區(qū)別于傳統(tǒng)水處理設(shè)備依賴樹脂再生、需停機維護的運行模式,該設(shè)備可實現(xiàn)連續(xù)化穩(wěn)定產(chǎn)水,有效保障半導(dǎo)體生產(chǎn)線的不間斷用水需求。配套的EDI處理裝置摒棄化學(xué)再生工藝,運行過程中廢水產(chǎn)出量少,減少藥劑消耗與廢水排放,貼合工業(yè)綠色生產(chǎn)要求,長期運行可降低企業(yè)生產(chǎn)運維成本,具備良好的環(huán)境與經(jīng)濟效益。
隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展,市場對超純水水質(zhì)的管控標準持續(xù)細化。行業(yè)工藝持續(xù)迭代,逐步向水體理論純度值靠攏,萊特萊德超純水設(shè)備產(chǎn)水純度可匹配行業(yè)升級需求,水質(zhì)參數(shù)貼合ASTM細分等級要求,能夠適配高集成度芯片、精密光電器件等高端電子產(chǎn)品的生產(chǎn)用水場景,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)定生產(chǎn)提供基礎(chǔ)用水保障。

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