芯片作為半導體元件的集合載體,是電子產(chǎn)業(yè)的核心基礎元器件。從早期真空管電路,到分立晶體管應用,再到20世紀中后期集成電路技術落地,半導體制造工藝持續(xù)迭代。集成電路將大量微晶體集成于小型芯片載體中,依托規(guī)模化、模塊化、可靠性優(yōu)勢,逐步替代分立晶體管電路,成為現(xiàn)代半導體生產(chǎn)的主流模式。芯片制造流程精密繁瑣,對生產(chǎn)介質純度要求嚴苛,其中生產(chǎn)用水的潔凈度直接影響芯片良品率,無離子雜質的超純水是芯片加工不可或缺的核心資源。
半導體芯片加工的清洗、蝕刻、沉積等工序,均需純水參與處理,水中殘留的鹽類、膠體、有機物、微量離子等雜質,都會造成芯片電路缺陷、性能衰減。常規(guī)自來水與工業(yè)純水無法滿足生產(chǎn)標準,需通過專業(yè)超純水設備完成水質提純。萊特萊德聚焦電子超純水領域,打造適配半導體行業(yè)的水處理解決方案,采用雙反滲透+EDI+拋光混床組合工藝,分層梯度凈化水質,匹配芯片制造全流程用水標準。

雙反滲透系統(tǒng)作為前端凈化環(huán)節(jié),依托反向滲透原理運作,可截留去除水中溶解鹽類、有機物、膠體及大分子雜質,有效降低水體離子基數(shù),完成水質初步提純,為后續(xù)深度脫鹽工序奠定穩(wěn)定水質基礎,保障后端設備運行負荷均衡。
EDI系統(tǒng)為中層核心脫鹽環(huán)節(jié),融合離子交換膜與離子電遷移技術,區(qū)別于傳統(tǒng)離子交換工藝,無需酸堿藥劑再生。該系統(tǒng)可依托電場作用持續(xù)脫除水中微量離子,支持全天候連續(xù)運行,自動化運行模式可減少人工干預,產(chǎn)出水質穩(wěn)定,水體電阻率可穩(wěn)定達到15MΩ·CM,同時降低藥劑耗材與運維成本,適配工業(yè)化連續(xù)生產(chǎn)需求。
整套工藝體系搭建的超純水設備,具備抗污染、節(jié)能環(huán)保、水質穩(wěn)定、脫鹽率穩(wěn)定的特點,系統(tǒng)采用密閉循環(huán)結構,可規(guī)避死水滋生雜質的問題。設備出水水質契合美國ASTM D5127電子及半導體業(yè)TypeE-1.2純水標準,指標優(yōu)于國內GBT11446.1-1997 EW-Ⅰ電子級超純水標準。萊特萊德集研發(fā)設計、設備制造、工程施工、運維服務于一體,以適配性強、性價比優(yōu)、運行穩(wěn)定的水處理方案,為半導體芯片產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)提供可靠的水質支撐。

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